ионная имплантация для формирования обеднённой области

skurdinamasis jonų implantavimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. depletion ion implantation vok. Ionenimplantation zur Erzeugung von Verarmungsgebieten, f rus. ионная имплантация для формирования обеднённой области, f pranc. implantation ionique pour zone de déplétion, f